Elementi di portfolio

Sistema PlasmaPro 80
Sistema PlasmaPro 80 RIE PECVD ICP

FALCON RIE+
Sistema plasma da tavolo con modalità RIE e CLEANING selezionabile via software

μMLA
Maskless aligner da tavolo

Nanofrazor
Il primo sistema ibrido di nanolitografia mix&match

MLA 150
Mask Aligner per la ricerca e sviluppo e piccole produzioni

DWL 66+
Eccellenza nella litografia con modalità in scala di grigi

MLA 300
Maskless aligner per la produzione in serie

DWL 2000 GS/DWL 4000 GS
Scrittura diretta 2D e 2.5D per grandi aree

ULTRA
Laser Mask Writer per i semiconduttori