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Elementi di portfolio

FLEXTURA 200 CLUSTER

La piattaforma cluster Flextura 200 è probabilmente il più flessibile sistema di cluster da 200 mm disponibile sul mercato.

FLEXTURA 300 CLUSTER

Sistema PVD Flextura per substrati da 300 mm

ptiq software

PTIQ è la più recente soluzione software intelligente per i sistemi Plasma Technology

Atomfab

Il sistema PE-ALD di Atomfab offre un processo ALD al plasma veloce, a basso danno e a bassa produzione di CoO per dispositivi GaN di potenza e RF.

FLEXTURA R&D

Il sistema Flextura R&D Cluster è una piattaforma di ricerca e sviluppo unica nel mercato

PlasmaPro 100 Estrelas DRIE

La piattaforma PlasmaPro 100 Estrelas è stata progettata per offrire una flessibilità totale per le applicazioni di Deep Reactive Ion Etching (DRIE)

PlasmaPro ASP

Basato su una piattaforma collaudata dalla produzione per la R&S aziendale/specializzata

PlasmaPro 100

Sistema PlasmaPro 100 RIE PECVD ICP

PlasmaPro 100 Nano CVD

Sistema Nanofab CVD PECVD per nanomateriali

Sistema PlasmaPro 80

Sistema PlasmaPro 80 RIE PECVD ICP

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