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Elementi di portfolio

Componenti PLD/PED

Neocera offre una varietà di componenti che possono essere montati e combinati in sistemi PLD e PED nuovi o esistenti

Diagnostica in situ

Accessori per completare esistenti sistemi PLD/PED

Sistemi PLD

La Laser Pulsed Deposition (PLD) è una tecnica versatile di deposizione di film sottili. Un laser a impulsi (larghezza di impulso di ~20 ns) fa evaporare rapidamente un materiale bersaglio formando un film sottile che mantiene la composizione del target

Sistemi PED

La deposizione elettronica pulsata (PED) è un processo in cui un fascio di elettroni pulsato (80-100 ns) ad alta potenza (~1000 A, 15 kV) penetra per circa 1 μm nel target, provocando una rapida evaporazione del materiale

FLEXTURA 300 CLUSTER

Sistema PVD Flextura per substrati da 300 mm

FLEXTURA R&D

Il sistema Flextura R&D Cluster è una piattaforma di ricerca e sviluppo unica nel mercato

Pagine

Polyteknik AS - Sistemi per PVD

Filmetrics - misura spessore e resistività dei film sottili

KLA - Nanoindentatori

VLSI Standards - Standard per Profilometri, AFM, SEM

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