Elementi di portfolio
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Sistemi PLD
La Laser Pulsed Deposition (PLD) è una tecnica versatile di deposizione di film sottili. Un laser a impulsi (larghezza di impulso di ~20 ns) fa evaporare rapidamente un materiale bersaglio formando un film sottile che mantiene la composizione del target
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Sistemi PED
La deposizione elettronica pulsata (PED) è un processo in cui un fascio di elettroni pulsato (80-100 ns) ad alta potenza (~1000 A, 15 kV) penetra per circa 1 μm nel target, provocando una rapida evaporazione del materiale
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μMLA
Maskless aligner da tavolo
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MLA150
Mask Aligner per la ricerca e sviluppo e piccole produzioni
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DWL 66+
Eccellenza nella litografia con modalità in scala di grigi
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MLA300
Maskless aligner per la produzione in serie
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DWL 2000/4000
Scrittura diretta 2D e 2.5D per grandi aree
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ULTRA
Laser Mask Writer per i semiconduttori