Elementi di portfolio
Park FX200
FX-200 AFM per campioni di grandi dimensioni
Componenti PLD/PED
Neocera offre una varietà di componenti che possono essere montati e combinati in sistemi PLD e PED nuovi o esistenti
Diagnostica in situ
Accessori per completare esistenti sistemi PLD/PED
Sistemi PLD
La Laser Pulsed Deposition (PLD) è una tecnica versatile di deposizione di film sottili. Un laser a impulsi (larghezza di impulso di ~20 ns) fa evaporare rapidamente un materiale bersaglio formando un film sottile che mantiene la composizione del target
Sistemi PED
La deposizione elettronica pulsata (PED) è un processo in cui un fascio di elettroni pulsato (80-100 ns) ad alta potenza (~1000 A, 15 kV) penetra per circa 1 μm nel target, provocando una rapida evaporazione del materiale
Difrattometro STADI MP
Lo STADI MP combina le due configurazioni diffrattometriche più comuni: Trasmissione/Debye-Scherrer e geometria di Bragg-Brentano con un set-up aggiuntivo per la micro-diffrazione.
Difrattometro stradivari
Lo STOE STADIVARI: flessibile per cristalli e polveri, installazione verticale/orizzontale. Configurazione a doppio fascio con tubi e BDS a microfocus. Integrazione nel software STOE X-AREA.
FLEXTURA 200 CLUSTER
La piattaforma cluster Flextura 200 è probabilmente il più flessibile sistema di cluster da 200 mm disponibile sul mercato.
Atomfab
Il sistema PE-ALD di Atomfab offre un processo ALD al plasma veloce, a basso danno e a bassa produzione di CoO per dispositivi GaN di potenza e RF.