Valvole a farfalla per downstream

Descrizione

MKS è il leader consolidato nei sottosistemi di controllo della pressione “downstream” che integrano valvole a farfalla di scarico, controllori digitali avanzati e manometri di processo Baratron®.

Le nostre soluzioni totali offrono una resa più elevata con set point veloci, overshoot / undershoot ridotti ed un  tempo di utilizzo maggiore. Le valvole di controllo della pressione “downstream” sono utilizzate a valle della camera del vuoto per regolare il flusso di gas in uscita dal sistema

Caratteristiche e vantaggi:

Completamente conforme a ETG. 5003.1 o e ETG. 5003.2030 valvola di controllo di processo
Tre opzioni di motorizzazione per ottimizzare i requisiti di velocità e coppia
Disponibile con l’opzione “F-Seal ” per un controllo di pressione affidabile a setpoint ad alta pressione (fino a 1 atmosfera)
Controllo pressione ad alte prestazioni utilizzando il controllo PID o sul  modello MKS (model based control)
Corpo valvola riscaldabile (standard 105 °c, 150 °c optzionale)

Applicazioni:

Le valvole a farfalla di scarico T2B EtherCAT sono adatte per il controllo della pressione, RTP o controllo della load lock, nel settore dei semiconduttori, solare, display e nlle applicazioni a film sottile.