Strumentazione di analisi dei gas FTIR (Fourier Transform Infrared) ed NDIR (Non dispersive Infrared) MultiGas™ & AIRGARD® e Process Sense™ per l’ analisi in tempo reale ed in linea.
Queste tecniche offrono una sensibilità di rivelamento che varia dal ppm il ppb per diverse specie di gas tra cui NF3, NH3, H2, NO and N2O e gas con fino al 30% di acqua.