Soluzioni per la spettrometria di massa

Descrizione

Gli analizzatori di gas MKS di spettrometria di massa sono strumenti innovativi di monitoraggio durante i processi in situ, sono pacchetti specifici completamente integrati, inclusi gli analizzatori di gas residui (RGA), WEB-enabled RGA, apparecchiature analitiche e RGA di processo e software di controllo.

Applicazioni

• Monitoraggio del vuoto e e-diagnostica
• Vacuum Ultra High (UHV)
• Processi CVD
• Vacuum Baseline RGA
• Ion Implant
• Detezione fotoresist
• RGA ad Alta Pressione
• PVD
• Etching
• Diffusione
• Monitoraggio delle camere di trasferimento
• Rilevamento delle perdite
• Analisi del gas a pressione atmosferica

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