Sistemi PED

Che cos’è la PED?

La deposizione elettronica pulsata (PED) è un processo in cui un fascio di elettroni pulsato (80-100 ns) ad alta potenza (~1000 A, 15 kV) penetra per circa 1 μm nel target, provocando una rapida evaporazione del materiale. Il riscaldamento non di equilibrio del target facilita l’ablazione stechiometrica del materiale. In condizioni ottimali, la stechiometria del target viene conservata nei film depositati. Tutti i materiali allo stato solido – metalli, semiconduttori e isolanti, compresi quelli trasparenti alle lunghezze d’onda del laser nella PLD – possono essere depositati come film sottili con la PED. Combinando PLD e PED, è possibile aumentare notevolmente la gamma di materiali complessi che possono essere preparati come film sottili.