Ricertificazioni
La ricertificazione assicura un’elevata accuratezza di calibrazione ed una durata maggiore dello standard, minimizzando gli errori nell’analisi SPC. Gli standard vengono ricertificati generalmente una volta all’anno.
ISO 9000
Per facilitare la certificazione ISO 9000 dei clienti, VLSI fornisce risposte scritte alla maggior parte delle domande fatte in occasione di audit.
Tabella e wafer per calibrazione con luce laser
Le tabelle di calibrazione per il Surfscan SP1 e per i sistemi di ispezione di wafer 6XX0 possono essere prodotte come servizio fornito da VLSI. In questo caso i clienti mandano alla VLSI i wafers con i film depositati; VLSI deposita successivamente sfere di lattice con certificazione NIST (ove richiesto) e misura la tabella di calibrazione, che viene rimandata al cliente via e-mail. I wafer depositati possono poi essere acquistati dal cliente.
Formati: 100mm – 300mm
Tracciabilità: NIST
Servizio d’ispezione del reticolo: Questo servizio permette l’ispezione e la misurazione delle dimensioni del reticolo standard. Sono disponibili la calibrazione NIST del passo e la metrologia automatica della dimensione del difetto. Formati: 6”x6”x 0.250” 5” x 5” x”x 0.090” Tracciabilità: NIST
Servizio di calibrazione del passo
E’ possibile calibrare i reticoli del pitch, usati tipicamente nella metrologia SEM e quindi considerarli tracciati NIST. Formato: Chip, stub di montaggio per SEM, wafers fino a 200mm Tracciabilità: NIST
Servizi di metrologia personalizzati
VLSI produce un vasto range di manufatti per sistemi di test e calibrazione. E’ possibile contattare VLSI per ogni Vostra specifica esigenza.