Descrizione
Controllori di flusso di massa, misuratori di flusso di massa e verifica dei flussi, regolazione e controllo dei materiali avanzati e soluzioni integrate e sottosistemi
La corretta e affidabile regolazione e controllo del flusso dei gas, oggi è fondamentale per molti dei processi avanzati. La famiglia di prodotti per la regolazione di flusso di MKS, comprende i controllori di flusso di massa (MFC), i controllori di flusso di massa in situ, e i controllori di portata che dividono accuratamente e in modo ripetibile i flussi di gas in flussi di flusso precisi all´interno dei diversi step di processo.
Gli MFC sono disponibili sia in versione con sensore di misura termico e di pressione, con interfaccia di comunicazione analogica e digitale e con guarnizioni di metallo o elastomeriche.
Aiutiamo i nostri clienti a portare i loro prodotti e processi sul mercato in modo più rapido, più affidabile e più conveniente questa è il pensiero al centro della nostra filosofia di progettazione dei prodotti per la misurazione dei flusso.