Software intelligente. Soluzioni potenti
PTIQ è la più recente soluzione software intelligente per i sistemi Plasma Technology. Offre un eccezionale livello di controllo del sistema, con potenti strumenti di programmazione e di reportistica, che aprono nuove possibilità per migliorare l’efficienza dei processi e i flussi di lavoro dinamici. Il software PTIQ ottimizza le prestazioni del sistema e del processo in laboratorio e in fabbrica, con diversi livelli di software disponibili per soddisfare le esigenze dell’impianto.
I vantaggi di PTIQ
Design facile da usare
- Il design “a colpo d’occhio” rende le informazioni e il controllo più accessibili con un minimo di clic, per la massima produttività dell’utente.
- I componenti del sistema possono essere rappresentati ad alto livello per gli ingegneri di processo o con diagrammi funzionali in stile LabView per i tecnici della manutenzione, per una migliore comprensione dell’architettura del sistema.
- Schema di colori ad alto contrasto progettato per l’uso in ambienti di produzione tipicamente a luce gialla
- Progettato tenendo conto dell’uso del touchscreen, come richiesto dai nostri utenti.
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Prontezza e precisione operativa
- Gli indicatori visivi della prontezza dei processi del sistema aiutano l’utente a evitare i problemi operativi in anticipo, per ottenere risultati migliori. Derivati dall’esperienza interna di best practice, assistono gli utenti a tutti i livelli di esperienza
- Confronto dei risultati delle ricette per garantire processi affidabili e ripetuti nel tempo, prima/dopo eventi come la pulizia e per lo sviluppo accelerato dei processi.
Precisione al millisecondo e registrazione di 1000 punti per una migliore interrogazione dei dati.
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Caratteristiche
Ricette
- Ricette in formato editabile come i nostri fogli dati di processo, per un utilizzo facile e senza errori
- Ricette in modalità privata per una maggiore sicurezza in ambienti multiutente
- Le corse sono collegate a versioni specifiche della ricetta, per una migliore tracciabilità
- Le ricette includono controlli standard, come i tassi di leak up e il tasso di riempimento MFC, che consentono di verificare le prestazioni prima della lavorazione dei wafer, automatizzando così gli interventi per una maggiore efficienza
- I valori di tolleranza possono ora essere definiti per ogni fase, consentendo un controllo più raffinato del processo.
Autorizzazioni e pianificazione
- Funzionamento del dispositivo collegato agli account utente, per un uso sicuro
- Opzioni di configurazione (ad es. unità di pressione, opzioni batch) collegate agli account utente, per ottimizzare l’esperienza dell’utente e aumentare la produttività.
- La potente programmazione consente di sovrapporre il funzionamento della camera con il trasferimento dei wafer (compresi il sollevamento dei wafer, il bloccaggio elettrostatico e il preriscaldamento dei wafer), per aumentare la produttività.
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Flessibilità e affidabilità
La conformità allo standard di interfaccia umana SEMI 95 offre un’esperienza familiare agli operatori e ai tecnici, che possono così iniziare a lavorare più rapidamente.
Personalizzabile per un funzionamento senza errori e multiutente in qualsiasi ambiente di camera bianca |
