ALD per ricerca e sviluppo da laboratorio

Sistema per ricerca e sviluppo su scala di laboratorio, Prometheus è l’ultima generazione allo stato dell’arte per applicazioni ALD su polveri (PALD).

Sviluppato per R&D, per la realizzazione e la messa a punto di questo sistema ALD ci sono voluti circa 10 anni. Senza presunzione possiamo dire che abbiamo realizzato il miglior sistema attualmente sul mercato.

Ptometheus permette di sviluppare processi ALD su polveri, trattando da qualche grammo fino a qualche kg di materiale, perfettamente scalabili poi in produzione su reattori di maggiori capacità per applicazioni commerciali.

Maggiori informazioni sulla PALD

Caratteristiche:

• HMI intuitivo
• Funzionamento intrinsecamente sicura
• Massima affidabilità Fluidizzazione multimodale (Gas, Vibrating, Jet Assist)
• Fino a 8 precursori totali(gas,liquidi,solidi) in linee riscaldate fino a 200°C.
• Temperatura di processo fino a 450°C.
• Varie configurazioni personalizzate disponibili, con possibilità di Plasma Assisted, diagnostica a bordo, ecc. .

Cosa è il processo ALD