Profilometro ottico 3D 
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Profilometro ottico 3D a basso costo
Filmetrics ha sviluppato Profilm3D, il primo profilometro al mondo a basso costo, il cui costo è meno della metà del prezzo di un profilometro a stilo 3D o ad un AFM!
Profilm3D utilizza l’interferometria a luce bianca all’avanguardia WLI e opzionale PSI per misurare i profili superficiali e la rugosità fino a 0,05 μm; aggiungendo l’opzione PSI a basso costo, la dimensione minima della feature verticale scende a 0.001 μm.
Caratteristiche tecniche Profilm3D
| Meccanica | |
| Z Range | 100 mm |
| Escursione piezo | 500 μm |
| Tipo di stage XY | Motorizzato auto |
| XY Stage Range | 100 mm x 100 mm 200 mm x 200 mm (opzionale) |
| Telecamera | 2592 x 1944 (5 megapixel) |
| Dimensioni del sistema, L x P x A | 300 mm x 300 mm x 550 mm |
| Peso del sistema | 15 kg |
| Sistema di misura | |
| Range di spessore, WLI | 50 nm – 10 mm |
| Gamma di spessore, PSI * | 0 – 3 μm |
| Esempio di intervallo di riflettanza | 0,05% – 100% |
| * Modalità interferometria opzionale a phase imaging |
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