Descrizione
il profilometro ottico confocale Z-388 è basato sul rivoluzionario approccio multimodale alle misure degi strumenti della serie Z, racchiude la potenza di 5 strumenti di metrologia separati in un’unica piattaforma di tipo compatto. Una suite software avanzata basata su algoritmi brevettati automatizza le misurazioni critiche del processo come l’altezza, il passo e il diametro delle strutture PSS. La stessa piattaforma può essere utilizzata per l’ispezione automatica dei difetti per trovare strutture PSS mancanti, ponti, lacerazioni e contaminazioni.
Metrologia PSS
Le ricette preimpostate possono essere ottimizzate per strutture di tipo a cono, a cupola o piatte. L’ampio campo visivo si traduce in un più ampio set di dati statistici da centinaia di strutture. Con un tempo di scansione <20sec per sito e una ripetibilità di 20nm (1σ), Zeta-388 fornisce il feedback più rapido e accurato per il controllo del processo rispetto alle tecniche concorrenti.Testa di misurazione Zeta3D ™. Configura lo strumento con una varietà di opzioni di illuminazione e ingrandimento
Fattore di forma multipla. Selezionare 2 diverse dimensioni di wafer per abilitare la funzionalità di fattore multiforme senza modifiche hardware
Handler veloce. Design compatto, movimento e velocità di precisione consentono un’elevata produttività
Flat o Notch finder .Possibilità di ricerca del flat o del notch per ogni testa di misura
Cassette Mapper. Mapper di cassette individuali su ciascuna porta per consentire il corretto trasferimento di wafer, nonché il binning e l’ordinamento
Scansione dei difetti
La scansione dei difetti può essere ottimizzata in base ai requisiti di produttività e sensibilità. Le scansioni di produzione possono essere eseguite con una velocità di <3 minuti per un wafer da 6 pollici didiametro . Il software Zeta3D ™ può eliminare i difetti in base alla loro firma ottica come intensità, dimensioni e colore.
DETECT -> CLASSIFY -> REVIEW
Riduci i tempi dei risultati per il feedback del processo, risparmiando tempo prezioso. Lo Zeta-388 dotato della funzione di revisione automatica dei difetti consente di risparmiare tempo e semplifica l’analisi dei difetti.
Le immagini 3D e le analisi di Zeta-388 forniscono le risposte per la maggior parte dei difetti. Ciò riduce il numero di difetti che devono essere rivisti con l’analisi AFM o SEM costosa e dispendiosa in termini di tempo.
