Il nuovo profilometro a stilo P17 della KLA-Tencor rappresenta l’ottava generazione di profilometri della serie P ed è il punto di arrivo di 35 anni di sviluppo tecnologico continuo.
Il sistema offre un tavolo portacampioni programmabile, un sensore a bassissimo rumore, scansioni ad alta risoluzione fino a 200 mm senza stitching.
Il sensore UltraLite® utilizzato include il controllo dinamico della forza, eccellente linearità e la più alta risoluzione verticale disponibile sul mercato.
L’esperienza d’uso del P17 è particolarmente agevole grazie all’utilizzo di due camere CCD di visualizzazione del campione ed il tavolino portacampioni interamente motorizzato nonché la funzione “Point&Click” per lo spostamento facilitato al punto di misura.
Tra le principali applicazioni dello strumento vi sono:
- Misura di film sottili
- Misura di fotoresist e film soffici
- Misura di trench
- Caratterizzazione di rugosità e planarità
- Misura dello stress in 2D
- Analisi dimensionale
- Ricostruzione topografica 3D
- Revisione di difettosità
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