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Vi presentiamo Park FX200, l’ultima innovazione di Park Systems nel campo della microscopia a forza atomica per campioni da 200 mm. Grazie a una struttura meccanica avanzata che garantisce un rumore di fondo significativamente inferiore, una deriva termica minima e una stabilità eccezionale, l’FX200 stabilisce un nuovo standard di precisione e affidabilità. Le prestazioni più veloci del servo Z e la migliore visione del campione ad alta potenza migliorano l’efficienza operativa e le capacità di imaging, mentre funzioni come il riconoscimento e lo scambio automatico della sonda, l’allineamento del fascio laser e le ottiche macro per una visione completa del campione semplificano l’esperienza dell’utente e massimizzano la produttività. Grazie all’autofocus ottico, alla navigazione e alle misure sequenziali a coordinate multiple, alle impostazioni automatiche dei parametri di scansione AFM e all’analisi automatizzata dei dati, l’FX200 semplifica le operazioni complesse, diventando la scelta ideale sia per la ricerca che per le applicazioni industriali. Con prestazioni superiori e facilità d’uso, Park FX200 è pronto a rivoluzionare l’imaging e l’analisi su scala nanometrica, consentendo a scienziati e ingegneri di ottenere intuizioni e progressi senza precedenti nei loro campi. |
Semplificate la vostra ricerca! |
Rumore di fondo ridotto e deriva termica minima
La struttura meccanica migliorata riduce il rumore di fondo operativo e la deriva termica e consente di ottenere un fascio di luce SLD più concentrato, superando i limiti precedenti. Questo porta a una maggiore precisione di misura e a immagini ad alta risoluzione.
Dimensioni ridotte dello spot laser
- Le dimensioni dello spot laser sono molto ridotte poiché il fascio SLD viene focalizzato attraverso l’obiettivo.
- Il diametro di 11 µm del fascio SLD consente una maggiore applicabilità dei cantilever a imaging rapido.
Prestazioni del servo Z più veloci
- Azionato da uno stack piezoelettrico ad alta forza e guidato da una struttura di flessione
- Il nuovo controllore elettronico dell’AFM FX garantisce prestazioni più rapide del servo Z con una migliore accuratezza
Richiesta informazioni
La modalità di scansione AFM più precisa di sempre
La modalità True Non-contact™ consente di ottenere un controllo senza precedenti sulla distanza punta-campione su scala sub-nanometrica.
Park FX200 dispone di una modalità True Non-contact™ più veloce e accurata di qualsiasi altro AFM sul mercato.
Misure precise e riproducibili per una migliore produttività
I vantaggi e la superiorità della microscopia a forza atomica in modalità senza contatto sono ben noti: nessuna usura della punta, nessun danno al campione, mantenimento di immagini ad alta risoluzione ed elevata precisione delle misure AFM. Tuttavia, solo Park ha raggiunto la modalità True Non-Contact™ con il suo Z-scanner ad alta forza basato sulla flessione. Nella modalità True Non-Contact™, la distanza punta-campione viene mantenuta a pochi nanometri nel regime attrattivo netto della forza interatomica. La piccola ampiezza dell’oscillazione della punta riduce al minimo l’interazione punta-campione, con il risultato di un’eccellente conservazione della punta e di una modifica trascurabile del campione.
Il sistema di scansione avanzata Park
Tecnologia in modalità True Non-contact™
Gestisce wafer e campioni multipli
Può ospitare una varietà di dimensioni di campioni, compresi wafer fino a 200 mm, su misura per le esigenze industriali.
Il mandrino a vuoto può contenere fino a 16 campioni di coupon, consentendo esperimenti diversi in un’unica configurazione.
Supporto per wafer
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Contiene fino a
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Automazione intelligente
Automatizza le attività essenziali, come il riconoscimento e lo scambio delle sonde, l’allineamento del laser e la regolazione dei parametri, aumentando così l’efficienza. Dispone di 16 slot per sonde per misure ripetitive e transizioni di modalità, riducendo i tempi di inattività e migliorando l’efficienza.
Riconoscimento automatico delle punte
| La telecamera per l’identificazione delle sonde legge il codice QR impresso sul supporto del chip di una nuova sonda, visualizzando tutte le informazioni pertinenti su ciascuna punta, tra cui tipo, modello, applicazione e utilizzo. Ciò consente di selezionare rapidamente la punta migliore per ogni lavoro, garantendo precisione ed efficienza. |
Sostituzione automatica della sonda
| Grazie alla sostituzione automatica delle sonde, è possibile sostituire le vecchie sonde in modo semplice e sicuro con la massima automazione. Dotato di 16 slot per sonde per misure ripetitive e transizioni di modalità, riduce i tempi di inattività e migliora l’efficienza grazie alla commutazione rapida e autonoma delle sonde. |
Allineamento automatico del raggio laser
| L’allineamento automatico del fascio posiziona il fascio laser sulla posizione corretta di un cantilever e ottimizza ulteriormente la posizione dello spot sul PSPD sia verticalmente che lateralmente. Sposta gli assi X, Y e Z per ottenere immagini più chiare, senza distorsioni, il tutto autonomamente con un semplice clic. |
Funzionamento semplificato
Navigazione automatica della messa a fuoco
| Lo zoom avanzato della regione di interesse (ROI) utilizza un’ampia telecamera per visualizzare l’intero wafer da 200 mm, semplificando l’analisi e consentendo un posizionamento rapido e preciso. Ciò riduce il tempo necessario per individuare le aree target, dalle ampie scansioni di rilevamento agli ingrandimenti dettagliati. Inoltre, la visione ottica raffinata offre una chiarezza eccezionale, risolvendo linee di larghezza inferiore a 1 µm. |
Misure sequenziali automatiche
| Consente di impostare coordinate predefinite su campioni di grandi dimensioni, come wafer da 200 mm o campioni su mandrini multi-campione, per un’esecuzione automatizzata. Supporta misure sequenziali, tra cui topografia e modalità avanzate, e semplifica i flussi di lavoro in ambienti di ricerca e industriali. |
Controllore AFM di nuova generazione per prodotti di alta gamma
Il controller Park FX è stato progettato specificamente per aumentare le prestazioni della serie Park FX. Questo importante sviluppo consente di realizzare applicazioni avanzate di microscopia a forza piezoresponsiva (PFM), come la Contact Resonance PFM (CR-PFM) e il Dual-Frequency Resonance Tracking (DFRT-PFM), senza la necessità di hardware aggiuntivo, assicurando ai nostri clienti di trarre il massimo vantaggio dai più recenti progressi nella microscopia a forza atomica.
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ApplicazioniPerfetto per diverse applicazioni
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