Informazioni

InSEM è uno strumento per caratterizzare le proprietà meccaniche di superfici o strutture, progettato per funzionare con risoluzione sub-nanometrica in un ambiente da vuoto in-situ come un SEM o un FIB.

InSEM è progettato per essere modulare e flessibile, per consentire un’ampia gamma di applicazioni. La disponibilità delle porte nelle camere SEM / FIB è spesso un problema. Abbiamo progettato l’InSEM per montarlo su una varietà di porte o per essere montato direttamente sul portacampioni del  SEM. Poiché diverse applicazioni richiedono diverse configurazioni di sistema, InSEM può essere facilmente spostato da una porta all’altra o assemblato nella configurazione sullo stage.

Flessibilità

InSEM è progettato per essere modulare e flessibile, per consentire una vasta gamma di applicazioni. La disponibilità delle porte nelle camere SEM / FIB è spesso un problema. Abbiamo progettato InSEM per installarlo su una varietà di flagie o per essere montato direttamente sullo stage del SEM. Poiché diverse applicazioni richiedono diverse configurazioni di sistema, InSEM può essere facilmente spostato da una porta all’altra o assemblato nella configurazione nello stage portacampioni.

KLA-Tencor Nanomechanics, Inc. forniscono una varietà di strumenti per l’uso nelle prove delle proprietà meccaniche per l’ambiente SEM / FIB o sotto vuoto. Tutti i nostri dispositivi e software sono progettati per essere modulari, facili da usare e ad alte prestazioni. Molte delle tecniche di test e caratterizzazione sono basate sull’articolo  molto famoso, W.C. Oliver and G.M. Pharm’s “An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments,” J. Mater Res., Vol. 7, No. 6, pp. 15-64-1583 (June 1992), che costituisce la base per le misure di nanoindentazione di durezza e modulo.
Tuttavia, InSEM ha grandi capacità e viene utilizzato per test di compressione e trazione più comuni ai tradizionali tester di trazione e ai tester DMA. Tutte le tecniche di test offrono la possibilità di osservarndo ciò che accade in tempo reale.

 InSEM HT

inSEM HT

In nanoindentatore InSEM HT fornisce il riscaldamento isotermico a 800 ° C della punta InForce e del campione, per lo studio delle proprietà meccaniche ad alta temperatura In-situ .
Il controllo indipendente della punta e delle temperature del campione è integrato con un sistema di retroazione della termocoppia multi-posizione, raffreddamento attivo, e naturalmente, la precisione e la gamma dinamica del sistema di test meccanico stesso.

InSEM I

InSEM I

InSEM utilizza InForce 50, InQuest Controller e InView Software in uno strumento per la caratterizzazione in-situ all’interno dei SEM, FIB o sotto vuoto misurando le proprietà meccaniche di superfici o strutture. InSEM I e InSEM II si montano sulla parete della camera SEM / FIB per ridurre al minimo l’ingombro all’interno della camera e per facilitare la retrazione del sistema mentre altre modalità di test SEM / FIB sono in corso.

InSEM III

InSEM III

InSEM III utilizza un portacampioni montato su una struttura con geometria a culla, due stadi di controllo e relativi microposizionatori, in modo da poter posizionare il campione in modo accurato in prossimità al trasduttore Inforce. Progettato per massimizzare la rigidità del telaio e ottimizzare la risoluzione di posizionamento, InSEM III offre funzionalità di test on stage versatili per applicazioni in cui la configurazione della camera di analisi è limitata.