Nanofabbricazione avanzata per tutti

Nanofrazor Scholar è il sistema entry-level di Heidelberg Nano, si basa sulla litografia termica a sonda di scansione sviluppata nei centri di ricerca di IBM. E’ la più veloce e versatile di tutte le tecniche litografiche a sonda di scansione.

Particolarmente adatto per gruppi di ricerca accademici, che cercano un modo semplice per creare strutture o dispositivi su scala nanometrica. Il sistema è compatto ed è stato progettato per adattarsi agli spazi anche di piccoli laboratori, può inoltre anche essere installato in una glovebox in atmosfera inerte, per consentire la litografia di materiali sensibili .

Il sistema, può scrivere forme geometriche ad alta risoluzione, senza bisogno di correzioni di effetto di prossimità. Offre inoltre alcune  funzionalità uniche come l’imaging AFM in-situ, la litografia 3D in scala di grigi, la sovrapposizione senza marcatori o la conversione termica del materiale.

Caratteristiche principali

• Risoluzione inferiore a 20 nm
• Imaging topografico ad alta velocità AFM in situ
• Dimensione campioni fino a 50 x 50 mm2
• Litografia closed loop
• Overlay e stitching precisi senza marcature con AFM in situ
• Nessun danno su materiali sensibili causata da un fascio di elettroni o ioni
• Compatibile con la glovebox
• Modalità di patterning  alternativa: conversione termica diretta su nanoscala
• Dimensioni contenute
• Facile utilizzo (nessun sviluppo wet, vuoto, ecc.)
• Funzionalità uniche aiutano a pubblicare in riviste scientifiche ad alto impatto
  e ricevere finanziamenti per nuovi progetti