Fasce riscaldanti e trappole

Descrizione

Le fascie riscaldanti MKS sono progettate per l’utilizzo su tubi e componenti in acciaio inossidabile. Conformi sia alle normative per cleanroom che CE, sono realizzate con un esclusivo design stampato per una calzata corretta e una facile installazione.

I materiali garantiscono un riscaldamento uniforme dove la camicia del riscaldatore viene a contatto con le tubazioni, mantenendo una temperatura “calda al tatto” in completa sicurezza sulla parte esterna della giacca. Gli isolatori a flangia di tipo a scatto mantengono calde le flange, eliminando i punti freddi.

MKS ha anche sviluppato una serie di trappole e soluzioni di gestione degli effluenti per aiutare a mantenere le tubazioni pulite.

Applicazioni

ETCH, CVD, PECVD, MOCVD, LPCVD (nitruro e TEOS), TEOS CVD, EPI (Epitaxy), ALD,

Risaldamento di camere da vuoto, linee di gas, analizzatori di gas, rilevatori di endpoint,  sistemi gorgogliamento precursori , controllori di flusso di massa, manometri,  valvole a farfalla.

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