AURIX™ SAM Coatings

La tecnologia AURIX viene utilizzata per la preparazione di superfici e la deposizione di rivestimenti superficiali avanzati e strati protettivi per dispositivi sensibili.

Processi realizzati in ambiente di vuoto, permettono la crescita in fase vapore di rivestimenti auto-assemblanti (SAM – Self Assembled Monolayers), eliminando gli effetti indesiderati legati alla presenza di umidità, che risultano cruciali nel realizzare rivestimenti superficiali robusti e ripetibili. Processi accuratamente calibrati tramite sistemi di controllo brevettati riducono le quantità di prodotti chimici utilizzati ed offrono proprietà superficiali superiori, con aumento nel controllo dell’energia superficiale.

Precursoni
Anti-Stiction:
Precursori
Idrofilici:
Precursori
Bio-Compatibili:
MTOS
DDMS
FDTS
FOTS
mPEG
AECTS
PEG
PMMA

Tecnologia di processo piattaforma memsstar

Orbis Alpha

Orbis 1000

Orbis 3000

Vapor HF Etching “Xeric Oxide” “Orbis Alpha Xeric Oxide” “Orbis 1000 Xeric Oxide” Moduli di processo selezionabili: Xeric Oxide or Silicon, Aurix
XeF2 Etching “Xeric Silicon” “Orbis Alpha Xeric Silicon” “Orbis 1000 Xeric Silicon”
SAM Coating “Aurix” “Orbis Alpha Aurix” “Orbis 1000 Aurix”

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