La tecnologia AURIX viene utilizzata per la preparazione di superfici e la deposizione di rivestimenti superficiali avanzati e strati protettivi per dispositivi sensibili.

Processi realizzati in ambiente di vuoto, permettono la crescita in fase vapore di rivestimenti auto-assemblanti (SAM – Self Assembled Monolayers), eliminando gli effetti indesiderati legati alla presenza di umidità, che risultano cruciali nel realizzare rivestimenti superficiali robusti e ripetibili. Processi accuratamente calibrati tramite sistemi di controllo brevettati riducono le quantità di prodotti chimici utilizzati ed offrono proprietà superficiali superiori, con aumento nel controllo dell’energia superficiale.