KLA - Profilometri a stilo ed ottici 3D

KLA – Profilometri a stilo, confocali ed interferometrici

Prodotti

Profilometro ottico Profilm3D

Profilometro ottico 3D a luce bianca WLI, primo strumento al mondo ad un costo contenuto che consente di ottenere misure 3D, di rugosità, gradini, in modo semplice ed accurato

Profilometro AlphaStep® D-500

Profilometro a stilo AlphaStep® D-500 con stage manuale

Profilometro AlphaStep® D-600

Profilometro a stilo Alpha-Step® D-600 con stage automatico

Profilometro a stilo P-7

Profilometro a stilo serie P7 con stage automatico

Profilometro a stilo P-17

Profilometro a stilo serie P17 con stage motorizzato ed automazione avanzata

Profilometro ottico Z20

Z20 profilometro ottico confocale di tipo multimodale

Profilometro ottico

Z300 profilometro ottico confocale di tipo multimodale

Profilometro ottico Z-388

Z388 profilometro ottico confocale di tipo multimodale automatizzato

Comparazione profilometri

	Alpha Step Development Series		Production Series
	Alpha-Step D-500	Alpha-Step D-600	Tencor P-7	Tencor P-17
Sample, Stage and Optics Specifications
Scan Length	30 mm	55 mm	150 mm	205 mm
Sample Stage Diameter	140 mm	200 mm	150 mm	200 mm 300 mm optional
Stage Translation	80 x 20 mm	150 x 178 mm	156 x 156 mm	240 x 240 mm
Sample Positioning	Manual	Motorised	Motorised	Motorised
Theta Stage	Manual	Motorised	Manual or Motorised	Motorised
Sample Thickness	20 mm	30 mm	55 mm	55 mm
Field of View	3.8 x 3.1 mm	3.8 x 3.1 mm	1.7 x 1.4 mm	1.4 x 1.4 mm
Zoom	4x digital	4x digital	4x digital	4x optical
Sample Chucks	Universal Nickel-plated Flat black Stress	Universal Nickel-plated Stress	Universal 150 mm Universal 200 mm Solar Stress	Universal 200 mm Disk Stress OF: 240 x 240 mm OF: 300 mm
Chuck Vacuum	Universal chuck only	Standard	Standard	Standard
Performance Specifications
Step Height Repeatability	5 Å for 1 µm step	5 Å for 1 µm step	4 Å for 1 µm step	4 Å for 1 µm step
Z Range	1200 µm	1200 µm	Standard 327 µm Low force 131 µm Extended range 1000 µm	Standard 327 µm Low force 131 µm Extended range 1000 µm
Vertical Resolution	0.38 Å @ 2.5 µm	0.38 Å @ 2.5 µm	0.01 - 0.06 Å	0.01 - 0.06 Å
Stylus Force	0.03 - 15 mg	0.03 - 15 mg	0.5 - 50 mg (SR, XR) 0.03 mg (LF)	0.5 - 50 mg (SR, XR) 0.03 mg (LF)
Profile Data Points	400,000	400,000	1,000,000	1,000,000
Software
3D Scan Data	Not available	Optional	Optional	Optional
Automated Sequencing	Not available	Yes	Yes	Yes
Pattern Recognition	Not available	Not available	Optional	Optional
Stress Software	Yes Chuck optional	Yes Chuck optional	2D & 3D Optional	2D & 3D Optional
Profile Stitching	Yes	Yes Automated	Yes	Yes
Auto Leveling & Step Height	Yes	Yes	Yes	Yes
Filtering & Roughness	Yes	Yes	Yes	Yes
Arc Correction	Yes	Yes	Yes	Yes
Computer OS	Windows 10 64-bit	Windows 10 64-bit	Windows 10 64-bit	Windows 10 64-bit

Partner

KLA è stata costituita nel maggio del 1997 e nasce dalla fusione di due società (KLA Instruments e Tencor Instruments) leader nel settore della strumentazione di caratterizzazione nell´industria dei semiconduttori. Con un fatturato complessivo di quasi 1 miliardo di dollari e più di 4800 dipendenti, KLA è in grado di offrire una ampia gamma di sistemi di controllo con una produttività senza eguali.

Fondata nel 1976 ed accreditata come azienda pionieristica nel proporre soluzioni ad alta produttività nel mercato dei semiconduttori, KLA, nel 1978, ha iniziato a realizzare sistemi di ispezione che hanno ridotto il tempo di verifica delle fotomaschere da 8 ore a 15 minuti. La società si è quotata in borsa nel 1980 ed ha ampliato molto velocemente la gamma di prodotti per il controllo dei wafers. Due anni più tardi la società è entrata anche nel settore della metrologia dei wafer con strumenti di misura ottici.

KLA ha poi continuato a sviluppare le sue lineee di prodotti, progettando un software di analisi per l´integrazione dei dati delle ispezioni e delle misure. E´ stata la prima società del settore ad offrire un servizio di consulenza tecnica per fornire al cliente soluzioni per il miglioramento della produttività attraverso i propri sistemi di ispezione. Al momento della fusione con Tencor, KLA aveva un fatturato di 695 milioni di dollari e 2500 impiegati in tutto il mondo.

Anche la Tencor fu fondata nel 1976 proponendo Alpha-Step, un profilometro per la caratterizzazione superficiale. Alpha-Step ha fornito un miglioramento significativo nella misura dello spessore dei film sottili che fino ad allora era considerato un parametro critico.

Nel 1984, la società ha introdotto il primo Surfscan basato sulla tecnologia a scansione laser, per la misura della contaminazione superficiale dei wafer, diventato ben presto uno standard nel mercato dei semiconduttori. Negli anni 90, Tencor ha ampliato la sua linea di prodotti inserendo sistemi per l´analisi dei difetti. Nel 1993 ha acquisito la società Prometrix, leader nella produzione di sistemi ottici per la misura dei film sottili. Al momento della fusione con KLA, Tencor aveva un fatturato di 403 milioni di dollari e 1400 impiegati in tutto il mondo.

La Gambetti Kenologia ha rappresentato la società Tencor sino alla fusione nel 1997 con KLA. Nel corso dell´anno KLA ha aperto in Italia un ufficio dedicato ai clienti del mercato dei semiconduttori mentre la Gambetti Kenologia, per quanto riguarda il mercato italiano, ha continuato a distribuire in esclusiva la linea di profilometria e caratterizzazione.