Prodotti
Nanoindentatore per sem fib afm
Nanoindentatore iMicro
Nanoindentatore iNano
Strumento per la misura della trazione T-150 UTM
Nanoindentatore G200X
Comparazione nanoindentatori
Product Range | ||||
iNano | iMicro | G200 | G200X | |
Lab Facility | ||||
R&D failure labs with targeted focus | X | X | X | X |
R&D and failure labs with multiple requirements | X | X | X | |
Multi-user faclities | X | X | ||
Force Range | ||||
50mN | X | X | X | X |
1N | X | X | X | |
10N | X | |||
SPM & Mapping | ||||
High speed indentation mapping | X | X | X | X |
Scanning probe microscopy | X | X | ||
Survey Scanning | X | X | ||
Targeting Accuracy | ||||
5μm | X | X | X | X |
<5μm | X | X | X | |
<1μm | X | X | ||
<20nm with NanoVision | X | X | ||
Stage Translation | ||||
75mm X 75mm | X | X | X | X |
100mm X 100mm | X | X | X | |
200mm X 200mm | X | X | ||
Displacement Range | ||||
lnForce50: 50μm (0.2pm Resolution) | X | X | X | |
lnForce1000: 80μm (0.04nm Resolution) | X | X | ||
DCM II: 70μm (0.2pm Resolution) | X | |||
XP: 1.5mm (0.01nm Resolution) | X | |||
>25mm Z-axis (<50nmResolution) | X | X | X | |
Force Range | ||||
lnForce50: 50mN (3nN Resolution) | X | X | X | |
lnForce1000: 1N (6nN Resolution) | X | X | X | |
DCM II: 30mN (3nN Resolution) | X | |||
XP: 500mN_10N optional (50nN Resolution) | X |
Partner
KLA è stata costituita nel maggio del 1997 e nasce dalla fusione di due società (KLA Instruments e Tencor Instruments) leader nel settore della strumentazione di caratterizzazione nell´industria dei semiconduttori. Con un fatturato complessivo di quasi 1 miliardo di dollari e più di 4800 dipendenti, KLA è in grado di offrire una ampia gamma di sistemi di controllo con una produttività senza eguali.
Fondata nel 1976 ed accreditata come azienda pionieristica nel proporre soluzioni ad alta produttività nel mercato dei semiconduttori, KLA, nel 1978, ha iniziato a realizzare sistemi di ispezione che hanno ridotto il tempo di verifica delle fotomaschere da 8 ore a 15 minuti. La società si è quotata in borsa nel 1980 ed ha ampliato molto velocemente la gamma di prodotti per il controllo dei wafers. Due anni più tardi la società è entrata anche nel settore della metrologia dei wafer con strumenti di misura ottici.
KLA ha poi continuato a sviluppare le sue lineee di prodotti, progettando un software di analisi per l´integrazione dei dati delle ispezioni e delle misure. E´ stata la prima società del settore ad offrire un servizio di consulenza tecnica per fornire al cliente soluzioni per il miglioramento della produttività attraverso i propri sistemi di ispezione. Al momento della fusione con Tencor, KLA aveva un fatturato di 695 milioni di dollari e 2500 impiegati in tutto il mondo.
Anche la Tencor fu fondata nel 1976 proponendo Alpha-Step, un profilometro per la caratterizzazione superficiale. Alpha-Step ha fornito un miglioramento significativo nella misura dello spessore dei film sottili che fino ad allora era considerato un parametro critico.
Nel 1984, la società ha introdotto il primo Surfscan basato sulla tecnologia a scansione laser, per la misura della contaminazione superficiale dei wafer, diventato ben presto uno standard nel mercato dei semiconduttori. Negli anni 90, Tencor ha ampliato la sua linea di prodotti inserendo sistemi per l´analisi dei difetti. Nel 1993 ha acquisito la società Prometrix, leader nella produzione di sistemi ottici per la misura dei film sottili. Al momento della fusione con KLA, Tencor aveva un fatturato di 403 milioni di dollari e 1400 impiegati in tutto il mondo.
La Gambetti Kenologia ha rappresentato la società Tencor sino alla fusione nel 1997 con KLA. Nel corso dell´anno KLA ha aperto in Italia un ufficio dedicato ai clienti del mercato dei semiconduttori mentre la Gambetti Kenologia, per quanto riguarda il mercato italiano, ha continuato a distribuire in esclusiva la linea di profilometria e caratterizzazione.
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