VLSI Standards Inc. nasce a Mountain View in California nel 1984 con lo scopo di sviluppare e produrre campioni di calibrazione e servizi collegati al mercato dei semiconduttori e della metrologia con certificazione NIST.

Gli standard prodotti sono applicabili per la seguente strumentazione:

• Profilometri
• AFM
• SEM
• misuratori di contaminazione superficiale
• misuratori di resistività

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