FALCON RIE+ ha la possibilità di operare in due distinte modalità di funzionamento. Con la modalità cleaning è possibile effettuare principalmente trattamenti chimici con l’obiettivo di rimuovere isotropicamente sostanze di varia natura depositate sui campioni da trattare. Con la modalità operativa denominata RIE (Reactive Ion Etching), al plasma si aggiunge un fenomeno di bombardamento ionico.

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