Misuratore della resistività R50

Descrizione

Gli strumenti Filmetrics® per la misura della resistività, sposano la tecnologia sviluppata e perfezionata da KLA per oltre 30 anni con la tecnologia degli strumenti da banco sviluppata negli ultimi 20 anni dal team di Filmetrics. Le tecnologie di KLA comprendono sia i metodi di contatto che quelli senza contatto. La famiglia Filmetrics di strumenti di misura della resistività possono misurare substrati conduttivi e film sottili depositati su vari substrati tra cui:

Substrati di wafer a semiconduttore
Substrati di vetro
Substrati di plastica (flessibili)
Caratteristiche del circuito stampato
Celle solari
Flat panel display anche provvisti di pattern
Fogli metallici

Modello Descrizione

R50-4PP	Utilizza una sonda a quattro punte per misurare la resistenza del campione; 100mm corsa motorizzata x-y stage; mappe campioni fino a 100mm di diametro; ospita campioni fino a 200mm di diametro
R50-CE	Utilizza una sonda a correnti parassite non a contatto per misurare la resistenza del campione; stage x-y motorizzato a corsa di 100 mm; mappa campioni fino a 100 mm di diametro; accoglie campioni fino a 200 mm di diametro
R50-200-4PP	Utilizza una sonda a quattro punte per misurare la resistenza del campione; stage x-y motorizzato da 200mm di corsa; mappa campioni fino a 200mm di diametro
R50-200-EC	Utilizza una sonda a correnti parassite senza contatto per misurare la resistenza del campione; stage x-y motorizzato da 200mm di corsa; mappa campioni fino a 200mm di diametro

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