Process Sense™ TFS™

Sensore di endpoint per processi di pulizia della camera di processo

Il sensore Process Sense ™ TFS ™ è un miglioramento della tradizionale tecnica endpoint ad infrarossi non dispersivi (NDIR). Tunable Filter Spectroscopy (TFS) è invece una tecnica spettroscopica in grado di generare una “mini-scansione”, producendo una porzione di spettri nella banda nella regione degli infrarossi.
La scansione fornisce picchi di assorbimento utilizzati per selezionare i composti e fornire valori di concentrazione.

Ciò che distingue il sensore di processo TFS dai sensori basati su NDIR è la sua capacità di sottrarre i gas interferenti che assorbono il segnale nelle stesse regioni dell’infrarosso; questo rendendo il Sensore TFS Process Sense più accurato e preciso quando si concentra su un gas target. Questa capacità di sottrazione supporta la generazione simultanea simultanea di più componenti. Ad esempio, la presenza di SiF4 e / o CO2 può essere riportata all’interno di una singola scansione.

Il Sensore TFS Process Sense è una piattaforma versatile di analisi che può essere configurata in fabbrica per rilevare altri gas che sono attivi nella regione IR, semplicemente modificando o aggiungendo filtri.

Caratteristiche e benefici:

• Riduci tempi e costi di pulizia della camera
• Riduci al minimo gli eventi particellari
• Ridurre l’utilizzo di NF3
• Ridurre il consumo di energia
• Aumenta il throughput del wafer nei processi CVD
• Determina in modo accurato dell’endpoint finale della pulizia della camera

Applicazioni:

• Endpoint di pulizia della camera per SiF4; Sensibilità a SiF4 fino a 2 ppm
• Analisi di gas come NF3 e CO2