Profilometro a stilo P-17

Il nuovo profilometro a stilo P17 della KLA-Tencor rappresenta l’ottava generazione di profilometri della serie P ed è il punto di arrivo di 35 anni di sviluppo tecnologico continuo.

Il sistema offre un tavolo portacampioni programmabile, un sensore a bassissimo rumore, scansioni ad alta risoluzione fino a 200 mm senza stitching.

Il sensore UltraLite® utilizzato include il controllo dinamico della forza, eccellente linearità e la più alta risoluzione verticale disponibile sul mercato.

L’esperienza d’uso del P17 è particolarmente agevole grazie all’utilizzo di due camere CCD di visualizzazione del campione ed il tavolino portacampioni interamente motorizzato nonché la funzione “Point&Click” per lo spostamento facilitato al punto di misura.

Tra le principali applicazioni dello strumento vi sono:

• Misura di film sottili
• Misura di fotoresist e film soffici
• Misura di trench
• Caratterizzazione di rugosità e planarità
• Misura dello stress in 2D
• Analisi dimensionale
• Ricostruzione topografica 3D
• Revisione di difettosità

Link prodotto